Аналитический автоэмиссионный растровый электронный микроскоп для исследования наноструктур

Описание

В серии ULTRA реализованы самые последние достижения технологии GEMINI — уникальная комбинация детекторов для получения изображений рельефа поверхности с одновременным отображением композиционного контраста в нанометрическом масштабе.

При этом GEMINI гарантирует выдающееся качество изображений — потрясающий контраст и несравнимую чистоту.

В микроскопах ULTRA используются три интегрированные системы детектирования сигнала:
Встроенный в линзовую систему детектор вторичных электронов (In-lens SE) для изучения топографии поверхности на предельных разрешениях;
Встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по энергии выхода (EsB), дающий картины поверхности с отображением химического контраста на сверхразрешениях;
Встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по углу выхода (AsB), используемый для изучения композиционного контраста и получения картин ориентации кристаллов.
С помощью микроскопов серии ULTRA получают уникальные по разрешению и выдающиеся по качеству изображения: топологии поверхности, композиционного контраста поверхности, карты разориентации кристаллов и карты ориентации магнитных доменов.

Рабочие камеры микроскопов серии ULTRA оборудованы оптимальным количеством портов для подключения дополнительного аналитического оборудования и высокоточным столиком с полной моторизацией по 5 осям, что в комбинации с электронно-оптической колонной GEMINI открывает перед исследователями широчайшие аналитические возможности.

GEMINI -это легендарная технология электронно-оптической колонны.
Она гарантирует:

— получение изображений во вторичных и/или в обратно рассеянных электронах со сверхвысокими разрешениями;

— выдающуюся стабильность тока пучка — 0,2 в час при токах до 20 нА;

— непревзойденные по качеству изображения;

— работу с высоким разрешением даже при ускоряющем напряжении в 100В;

— проведение прецизионных измерений частиц и включений во всем диапазоне увеличений;

— проведение экспериментов на ультрамалых рабочих расстояниях (WD) вплоть до 1 мм;

— уникальные дополнительные аналитические возможности при изучении образцов в режимах просвечивания и/или в комбинации с микроаналитическими приставками.